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| 柱塞表面类金刚石薄膜批量化沉积方法 专利 专利类型: 发明, 专利号: 201210550894.2, 申请日期: 2016-09-21, 公开日期: 2014-06-18 Inventors: 张俊彦; 张斌 Adobe PDF(446Kb)  |  Favorite  |  View/Download:102/2  |  Submit date:2017/05/08 |
| 一种类金刚石薄膜的磁靴增强磁控溅射镀膜装置 专利 专利类型: 实用新型, 专利号: 201520837488.3, 申请日期: 2016-04-13, 公开日期: 2016-04-13 Inventors: 张斌; 张俊彦; 高凯雄; 强力 Adobe PDF(396Kb)  |  Favorite  |  View/Download:90/1  |  Submit date:2017/05/05 |
| 箍缩磁场辅助磁控溅射镀膜装置 专利 专利类型: 实用新型, 专利号: 201520840237.0, 申请日期: 2016-04-13, 公开日期: 2016-04-13 Inventors: 张斌; 张俊彦; 强力; 高凯雄; 王健 Adobe PDF(362Kb)  |  Favorite  |  View/Download:91/0  |  Submit date:2017/05/05 |
| 阳极场辅磁控溅射镀膜装置 专利 专利类型: 实用新型, 专利号: 201520836093.1, 申请日期: 2016-04-13, 公开日期: 2016-04-13 Inventors: 张斌; 张俊彦; 高凯雄; 强力; 王健 Adobe PDF(405Kb)  |  Favorite  |  View/Download:125/0  |  Submit date:2017/05/05 |
| 具高功率脉冲离子源的磁控溅射装置 专利 专利类型: 实用新型, 专利号: 201520840239.X, 申请日期: 2016-04-13, 公开日期: 2016-04-13 Inventors: 张斌; 张俊彦; 高凯雄; 强力; 王健 Adobe PDF(405Kb)  |  Favorite  |  View/Download:127/0  |  Submit date:2017/05/05 |