| 柱塞表面类金刚石薄膜批量化沉积方法 | |
张俊彦 ; 张斌
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| 2016-09-21 | |
| Rights Holder | 中国科学院兰州化学物理研究所 |
| Date Available | 2014-06-18 |
| Country | 中国 |
| Abstract | 本发明涉及一种在柱塞表面类金刚石薄膜批量化沉积方法，多层多组分类金刚石薄膜组成Cr+CrTi+CrTiN+CrTi/CrTiC+CrTiC/DLC；采用多靶脉冲磁控溅射方法，经过超声波清洗和真空系统中氩等离子体溅射清洗柱塞；溅射沉积Cr+CrTi层；反应磁控溅射沉积CrTiN+CrTi/CrTiC梯度层层；反应溅射溅射CrTiC/DLC功能层，最后在柱塞表面形成类金刚石薄膜。 |
| Subject Area | 材料科学与物理化学 |
| Department | 先进润滑与防护材料研究发展中心 |
| The second department | 固体润滑国家重点实验室 |
| Application Date | 2012-12-18 |
| Patent Number | 201210550894.2 |
| Language | 中文 |
| Status | 授权 |
| Application Number | CN103866251A |
| Patent Agent | 方晓佳 |
| Document Type | 专利 |
| Identifier | http://ir.licp.cn/handle/362003/21685 |
| Collection | 中国科学院材料磨损与防护重点实验室/先进润滑与防护材料研究发展中心 固体润滑国家重点实验室（LSL） |
| Affiliation | 中国科学院兰州化学物理研究所 |
| Recommended Citation GB/T 7714 | 张俊彦,张斌. 柱塞表面类金刚石薄膜批量化沉积方法. 201210550894.2[P]. 2016-09-21. |
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| File Name/Size | DocType | Version | Access | License | ||
| 2012105508942.pdf（446KB） | 专利 | 开放获取 | CC BY-NC-SA | View Application Full Text | ||
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