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| 柱塞表面类金刚石薄膜批量化沉积方法 专利 专利类型: 发明, 专利号: 201210550894.2, 申请日期: 2016-09-21, 公开日期: 2014-06-18 Inventors: 张俊彦 ; 张斌![](/image/person.jpg)
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| 一种类金刚石薄膜的磁靴增强磁控溅射镀膜装置 专利 专利类型: 实用新型, 专利号: 201520837488.3, 申请日期: 2016-04-13, 公开日期: 2016-04-13 Inventors: 张斌 ; 张俊彦 ; 高凯雄 ; 强力![](/image/person.jpg)
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| 箍缩磁场辅助磁控溅射镀膜装置 专利 专利类型: 实用新型, 专利号: 201520840237.0, 申请日期: 2016-04-13, 公开日期: 2016-04-13 Inventors: 张斌 ; 张俊彦 ; 强力 ; 高凯雄 ; 王健
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| 阳极场辅磁控溅射镀膜装置 专利 专利类型: 实用新型, 专利号: 201520836093.1, 申请日期: 2016-04-13, 公开日期: 2016-04-13 Inventors: 张斌 ; 张俊彦 ; 高凯雄 ; 强力 ; 王健
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| 具高功率脉冲离子源的磁控溅射装置 专利 专利类型: 实用新型, 专利号: 201520840239.X, 申请日期: 2016-04-13, 公开日期: 2016-04-13 Inventors: 张斌 ; 张俊彦 ; 高凯雄 ; 强力 ; 王健
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