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| 甲烷流量对中频磁控溅射制备TiSi-C:H薄膜生长和性能的影响(英文) 期刊论文
稀有金属材料与工程, 2014, 卷号: 43, 期号: 10, 页码: 2305-2310
Authors: 姜金龙; 陈娣; 王琼; 黄浩; 朱维君; 郝俊英
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A-c:h Films Middle-frequency Magnetron Sputtering Mechanical Property Tribological Property A-c:H薄膜 中频磁控溅射 力学性能 摩擦性能 |
| 钨铝共掺杂含氢非晶碳薄膜的设计、制备及其性能研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2013
Authors: 龚秋雨
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含氢非晶碳薄膜 中频磁控溅射 共掺杂 结合强度 摩擦与磨损 Hydrogenated Amorphous Carbon Films Medium Frequency Magnetron Sputtering Co-doping Adhesion Strength Friction And Wear |
| 纳米复合含氢非晶碳薄膜的制备、结构与性能研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2013
Authors: 刘小强
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磁控溅射 含氢非晶碳薄膜 掺杂技术 纳米结构 超低摩擦 Magnetron Sputtering Hydrogneated Amorphous Carbon Film Doping Technique Nanostructure Superlow Friction |
| 中频磁控溅射制备ａ－Ｃ∶Ｈ（Ａｌ，Ｗ） 薄膜及其性能研究 期刊论文
摩擦学学报, 摩擦学学报, 2013, 2013, 卷号: 33, 33, 期号: 6, 页码: 556-564, 556-564
Authors: 龚秋雨; 郝俊英; 刘小强; 刘维民
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中频磁控溅射 中频磁控溅射 摩擦磨损 Ａ－ｃ∶ｈ（ａｌ 摩擦磨损 Ａ－ｃ∶ｈ（ａｌ 力学性能 Ｗ）薄膜 力学性能 Ｗ）薄膜 Medium Frequency Magnetron Sputtering Medium Frequency Magnetron Sputtering Friction And Wear Ａ－ｃ∶ｈ（ａｌ Friction And Wear Ａ－ｃ∶ｈ（ａｌ Mechanical Properties Ｗ）films Mechanical Properties Ｗ）films |
| 直流磁控溅射制备TiAlCN薄膜及其性能研究 期刊论文
摩擦学学报, 2013, 卷号: 33, 期号: 1, 页码: 85-90
Authors: 郑建云; 郝俊英; 刘小强; 龚秋雨; 刘维民
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直流磁控溅射 Tialcn薄膜 微观结构 硬度 摩擦行为 Direct Current Magnetron Sputtering Tialcn Films Microstructure Hardness Tribological Behaviours |
| 钛硅多元掺杂类金刚石薄膜在不同气氛环境下的摩擦学性能研究 期刊论文
摩擦学学报, 2013, 卷号: 33, 期号: 5, 页码: 456-462
Authors: 姜金龙; 黄浩; 陈娣; 王琼; 冯旺军; 郝俊英
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类金刚石薄膜 多元掺杂 中频磁控溅射 气氛环境 摩擦学性能 Diamond-like Carbon Film Multi-elements Doping Mf Magnetron Sputtering Atmosphere Environment Tribological Property |
| 磁控溅射法制备氮化物硬质膜及其性能研究 学位论文
: 中国科学院研究生院, 2012
Authors: 郑建云
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氮化物硬质膜 磁控溅射 多层复合 微观结构 摩擦与磨损 Hard Nitride-based Films Magnetron Sputtering Multilayercomposite Microstructure Friction And Wear |
| 物理气相沉积纳米多层摩擦学薄膜制备、结构及性能研究 学位论文
: 中国科学院研究生院, 2012
Authors: 胡明
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磁控溅射 纳米多层薄膜 力学性能 摩擦学性能 耐原子氧性能 Magnetron Sputtering Nanoscale Multilayer Films Mechanical Properties Tribological Properties Ao Resistance Properties |
