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钨铝共掺杂含氢非晶碳薄膜的设计、制备及其性能研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2013
Authors:  龚秋雨
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含氢非晶碳薄膜  中频磁控溅射  共掺杂  结合强度  摩擦与磨损  Hydrogenated Amorphous Carbon Films  Medium Frequency Magnetron Sputtering  Co-doping  Adhesion Strength  Friction And Wear  
纳米复合含氢非晶碳薄膜的制备、结构与性能研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2013
Authors:  刘小强
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磁控溅射  含氢非晶碳薄膜  掺杂技术  纳米结构  超低摩擦  Magnetron Sputtering  Hydrogneated Amorphous Carbon Film  Doping Technique  Nanostructure  Superlow Friction  
磁控溅射法制备氮化物硬质膜及其性能研究 学位论文
: 中国科学院研究生院, 2012
Authors:  郑建云
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氮化物硬质膜  磁控溅射  多层复合  微观结构  摩擦与磨损  Hard Nitride-based Films  Magnetron Sputtering  Multilayercomposite  Microstructure  Friction And Wear  
物理气相沉积纳米多层摩擦学薄膜制备、结构及性能研究 学位论文
: 中国科学院研究生院, 2012
Authors:  胡明
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磁控溅射  纳米多层薄膜  力学性能  摩擦学性能  耐原子氧性能  Magnetron Sputtering  Nanoscale Multilayer Films  Mechanical Properties  Tribological Properties  Ao Resistance Properties