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Relationship between bias voltage and microstructure as well as properties of CrAlYN films 期刊论文
Chinese Physics B, 2015, 卷号: 24, 期号: 11, 页码: 11620(1-10)
作者:  Fu YY(付英英);  Li HX(李红轩);  Ji L(吉利);  Liu XH(刘晓红);  Liu L(刘流);  Zhou HD(周惠娣);  Chen JM(陈建敏);  Ji L(吉利);  Chen JM(陈建敏)
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Cralyn Film  Bias Voltage  Microstructure  Properties