以环戊二烯为碳源制备类富勒烯结构碳基薄膜的结构及力学性能 | |
Department | 先进润滑与防护材料研究发展中心 |
张庆堂; 吴坤尧; 龚珍彬; 张斌; 张俊彦 | |
The second department | 固体润滑国家重点实验室 |
2014 | |
Source Publication | 中国表面工程 |
ISSN | 1007-9289 |
Volume | 27Issue:4Pages:89-94 |
Abstract | 以环戊二烯为碳源,采用等离子体增强化学气相沉积法(PECVD)在Si单晶(n-100)面上制备了类金刚石薄膜。采用PEI Tecnai F30 型高分辨透射电镜(HRTEM)和LAMRAM HR 800型拉曼光谱仪对薄膜及磨屑的结构进行表征;利用MFT-R4000摩擦磨损试验机、Hysitron Ti-950型原位纳米力学测试系统考察薄膜的摩擦学及力学性能。结果表明:所制备的金刚石薄膜具有富勒烯纳米团簇/非晶复合纳米结构,在磨屑中也出现了这种稳定的片层结构从而起到了良好的减摩作用;并且薄膜表现出优异的力学性能和摩擦学性能:其硬度为26.8 GPa、弹性回复为85%、摩擦因数为0.01。由于这种特殊纳米结构的存在,使得薄膜的力学性能及摩擦学性能显著提高。 |
Keyword | 环戊二烯 碳基薄膜 力学性能 摩擦学性能 Cyclopentadiene Carbon-based Film Mechanical Property Tribological Property |
Subject Area | 纳米润滑研究 |
Funding Organization | 国家自然科学基金(51275508);国家重点基础研究发展计划(973计划) (2013CB632300) |
Indexed By | CSCD |
If | 0.4484 |
Language | 中文 |
Funding Project | 纳米润滑研究组 |
compositor | 第二作者单位 |
Citation statistics |
Cited Times:2[CSCD]
[CSCD Record]
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Document Type | 期刊论文 |
Identifier | http://ir.licp.cn/handle/362003/7078 |
Collection | 中国科学院材料磨损与防护重点实验室/先进润滑与防护材料研究发展中心 固体润滑国家重点实验室(LSL) |
Corresponding Author | 张俊彦 |
Recommended Citation GB/T 7714 | 张庆堂,吴坤尧,龚珍彬,等. 以环戊二烯为碳源制备类富勒烯结构碳基薄膜的结构及力学性能[J]. 中国表面工程,2014,27(4):89-94. |
APA | 张庆堂,吴坤尧,龚珍彬,张斌,&张俊彦.(2014).以环戊二烯为碳源制备类富勒烯结构碳基薄膜的结构及力学性能.中国表面工程,27(4),89-94. |
MLA | 张庆堂,et al."以环戊二烯为碳源制备类富勒烯结构碳基薄膜的结构及力学性能".中国表面工程 27.4(2014):89-94. |
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以环戊二烯为碳源制备类富勒烯结构碳基薄膜(494KB) | 期刊论文 | 作者接受稿 | 开放获取 | CC BY-NC-SA | View Application Full Text |
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