| 在硅基底上制备二氧化钛或二氧化锆微图案方法 | |
| 陈淼; 梁山 | |
| 2010-06-16 | |
| Rights Holder | 中国科学院兰州化学物理研究所 |
| Date Available | 2014-03-20 |
| Country | 中国 |
| Abstract | 本发明公开了一种在硅基底上制备二氧化钛或二氧化锆微图案方法。本发明以廉价的无机盐水溶液作为原料来替代传统的金属醇盐，以化学沉积法制得了图案化的二氧化钛、二氧化锆的无机物薄膜。紫外光照使得硅表面荷正电，抑制了无机物在该区域的沉积。所得到的氧化物图案为负相图案。该方法未对表面进行任何修饰，在完全亲水的表面上即可获得图案，具有操作简单，成本低廉的优点，且拓展了光电效应在图案化领域的应用。 |
| Subject Area | 材料科学与物理化学 |
| Department | 固体润滑国家重点实验室 |
| Application Date | 2007-12-13 |
| Patent Number | 200710307722.1 |
| Language | 中文 |
| Status | 授权 |
| Application Number | CN101459053 |
| Patent Agent | 方晓佳 |
| Document Type | 专利 |
| Identifier | http://ir.licp.cn/handle/362003/5384 |
| Collection | 固体润滑国家重点实验室（LSL） |
| Recommended Citation GB/T 7714 | 陈淼,梁山. 在硅基底上制备二氧化钛或二氧化锆微图案方法. 200710307722.1[P]. 2010-06-16. |
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| File Name/Size | DocType | Version | Access | License | ||
| 200710307722.1.pdf（324KB） | 开放获取 | CC BY-NC-SA | View Application Full Text | |||
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