硅基图案化TiO2表面微结构的制备和表征 | |
Department | 固体润滑国家重点实验室 |
管飞; 陈淼; 张瑞; 梁山; 薛群基 | |
2005 | |
Source Publication | 高等学校化学学报 |
ISSN | 0251-0790 |
Volume | 26Issue:4Pages:599-602 |
Abstract | 结合微接触印刷术和TiO2 沉积成膜技术, 在单晶硅表面成功地制备了具有微米级图案结构的TiO2薄膜, 并利用XPS, SEM 和AFM 对其表面性质和结构进行了表征. 该硅基图案化TiO2 微结构在光电转化、微机电和光催化等领域中的应用具有重要意义. |
Keyword | 微图案 微接触印刷术 Tio2微结构 Micro-patterns Microcontact Printing Tio2 Microstructures |
Subject Area | 材料科学与物理化学 |
Funding Organization | 国家自然科学基金(批准号: 20473106);国家“九七三”计划(批准号: 2003CB716200)资助 |
Indexed By | SCI ; CSCD |
Language | 中文 |
Funding Project | 功能界面材料及分子摩擦学 |
Citation statistics |
Cited Times:2[CSCD]
[CSCD Record]
|
Document Type | 期刊论文 |
Identifier | http://ir.licp.cn/handle/362003/5240 |
Collection | 固体润滑国家重点实验室(LSL) |
Corresponding Author | 陈淼 |
Recommended Citation GB/T 7714 | 管飞,陈淼,张瑞,等. 硅基图案化TiO2表面微结构的制备和表征[J]. 高等学校化学学报,2005,26(4):599-602. |
APA | 管飞,陈淼,张瑞,梁山,&薛群基.(2005).硅基图案化TiO2表面微结构的制备和表征.高等学校化学学报,26(4),599-602. |
MLA | 管飞,et al."硅基图案化TiO2表面微结构的制备和表征".高等学校化学学报 26.4(2005):599-602. |
Files in This Item: | ||||||
File Name/Size | DocType | Version | Access | License | ||
2005-599-602.PDF(273KB) | 开放获取 | CC BY-NC-SA | View Application Full Text |
Items in the repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.
Edit Comment