锑掺杂量对 ATO 薄膜结构及光、电性能的影响 | |
Department | 固体润滑国家重点实验室 |
杨保平; 钟小华; 张晓亮; 崔锦峰; 贾均红; 易戈文 | |
2012 | |
Source Publication | 无机盐工业 |
ISSN | 1006-4990 |
Volume | 44Issue:1Pages:19-21 |
Abstract | 以四氯化锡和三氯化锑为主要原料,采用溶胶-凝胶法制备了不同锑掺杂量的纳米锑掺杂二氧化锡(ATO) 薄膜。分别利用XRD、FESEM、紫外可见分光光度计和四探针电阻仪对晶体结构、薄膜形貌、光透过率和薄膜方块电阻进行表征,考察锑掺杂量对ATO 薄膜晶体结构、晶粒尺寸、光透过率和导电性能的影响。结果表明: 所制备的ATO 薄膜为(110) 面择优取向的四方相锡石结构,晶粒尺寸小于26 nm,当锑掺杂量为10% (物质的量分数)时,ATO 薄膜具有最小的方块电阻( 60.1 Ω/□) ,可见光透过率大于85%。 |
Keyword | Ato 纳米薄膜 Sb 掺杂量 Sol-gel 法 光透过率 方块电阻 Ato Films Sb Doping Amounts Sol-gel Method Transmission Sheet Resistance |
Subject Area | 材料科学与物理化学 |
Funding Organization | 国家自然科学基金资助项目(50705094);中国科学院“百人计划”资助项目(KGCX2-YW-804) |
Indexed By | CSCD |
Language | 中文 |
Funding Project | 高温抗磨材料组 |
Citation statistics | |
Document Type | 期刊论文 |
Identifier | http://ir.licp.cn/handle/362003/3544 |
Collection | 固体润滑国家重点实验室(LSL) |
Recommended Citation GB/T 7714 | 杨保平,钟小华,张晓亮,等. 锑掺杂量对 ATO 薄膜结构及光、电性能的影响[J]. 无机盐工业,2012,44(1):19-21. |
APA | 杨保平,钟小华,张晓亮,崔锦峰,贾均红,&易戈文.(2012).锑掺杂量对 ATO 薄膜结构及光、电性能的影响.无机盐工业,44(1),19-21. |
MLA | 杨保平,et al."锑掺杂量对 ATO 薄膜结构及光、电性能的影响".无机盐工业 44.1(2012):19-21. |
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