| 一种类金刚石薄膜的磁靴增强磁控溅射镀膜装置 | |
张斌 ; 张俊彦; 高凯雄; 强力
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| 2016-04-13 | |
| Rights Holder | 中国科学院兰州化学物理研究所 |
| Date Available | 2016-04-13 |
| Country | 中国 |
| Abstract | 本实用新型属于物理气相沉积领域,公开了一种类金刚石薄膜的磁靴增强磁控溅射镀膜装置，该装置包括磁控溅射靶，磁控溅射靶前设有磁靴，其中磁靴由一对磁场相反的电磁铁组成，磁靴产生的磁场平行于磁控溅射靶的靶面。本实用新型磁靴增强磁控溅射镀膜装置离化率可以由原来的10%提高到60%。 |
| Subject Area | 材料科学与物理化学 |
| Department | 先进润滑与防护材料研究发展中心 |
| The second department | 固体润滑国家重点实验室 |
| Application Date | 2015-10-27 |
| Patent Number | 201520837488.3 |
| Language | 中文 |
| Status | 授权 |
| Application Number | CN205152321U |
| Patent Agent | 方晓佳 |
| Document Type | 专利 |
| Identifier | http://ir.licp.cn/handle/362003/21667 |
| Collection | 中国科学院材料磨损与防护重点实验室/先进润滑与防护材料研究发展中心 固体润滑国家重点实验室（LSL） |
| Affiliation | 中国科学院兰州化学物理研究所 |
| Recommended Citation GB/T 7714 | 张斌,张俊彦,高凯雄,等. 一种类金刚石薄膜的磁靴增强磁控溅射镀膜装置. 201520837488.3[P]. 2016-04-13. |
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| File Name/Size | DocType | Version | Access | License | ||
| 2015208374883.pdf（396KB） | 专利 | 开放获取 | CC BY-NC-SA | View Application Full Text | ||
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