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| 超厚类金刚石碳基薄膜多层界面特征及其摩擦学特性 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
Authors: 王军军
 Adobe PDF(9040Kb) |  Favorite | View/Download：690/2 | Submit date：2014/11/21
等离子体增强化学气相沉积 超厚类金刚石薄膜 超高承载 摩擦学性能 Plasma-enhanced Chemical Vapor Deposition Super-thick Diamond-likecarbon Film Ultra-high Load-bearing Capacity Tribological Property |
| Si过渡层类金刚石薄膜界面优化及其性能研究 期刊论文
摩擦学学报, 2014, 卷号: 34, 期号: 5, 页码: 531-537
Authors: 王军军; 蒲吉斌 ; 张广安; 王立平
Adobe PDF(946Kb) | Favorite | View/Download：242/1 | Submit date：2014/12/30
类金刚石薄膜 等离子体化学气相沉积 摩擦学性能 Diamond-like Carbon Films Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition Tribological Property |
| Study on the anti-reflection and structure evolution of hydrogenated amorphous carbon grown by plasma chemical vapor deposition 期刊论文
Surface and interface analysis, 2014, 卷号: 46, 期号: 8, 页码: 530-534
Authors: Shi J(师晶); Geng ZR(耿中荣); Zhang JY(张俊彦); Wang CB(王成兵); Zhang JY(张俊彦); Wang CB(王成兵)
Adobe PDF(793Kb) | Favorite | View/Download：387/7 | Submit date：2014/10/17
Hydrogenated Amorphous Carbon Direct Current Plasma-enhanced Chemical Vapor Deposition Anti-reflection Property Raman Spectroscopy X-ray Photoelectron Spectroscopy |
| 射频功率对类金刚石薄膜结构和性能的影响 期刊论文
物理学报, 2005, 卷号: 54, 期号: 4, 页码: 1885-1889
Authors: 李红轩; 徐洮; 陈建敏; 周惠娣; 刘惠文
Adobe PDF(291Kb) | Favorite | View/Download：121/1 | Submit date：2014/03/03
等离子增强化学气相沉积 类金刚石薄膜 射频功率 结构和性能 Plasma-enhanced Chemical Vapor Deposition Diamond-like Carbon Films Rf Power Structure And Properties |
| 工艺参数对PECVD TiN镀层性能的影响 期刊论文
固体润滑, 1991, 卷号: 11, 期号: 1, 页码: 51-62
Authors: 张平余; 刘洪; 丛秋滋; 张绪寿; 王秀娥; 顾则鸣
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等离子体增强化学气相沉积 Tin镀层 物理机械性能 摩擦学性能 晶体学特征 沉积参数 Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition (Pecvd) Tin coaTing Physic-mechanical Properties Tribological Characteristic Crystallinity Deposition Parameters |
