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陶瓷微型零件的软刻蚀成形与缺陷控制 学位论文
, 北京: 中国科学院大学, 2016
Authors:  苏博
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陶瓷  微制造  软刻蚀  缺陷控制  Ceramics  Microfabrication  Soft Lithography  Defect Control  
图案化TiO2薄膜的制备技术 期刊论文
化学进展, 2008, 卷号: 20, 期号: 11, 页码: 66.1(0-5)
Authors:  梁山;  陈淼
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图案化 Tio2 膜  自组装  光刻胶  光敏膜  软刻蚀  微接触印刷  Patterned Tio2 Films  Selfassembly  Photoresist  Photosensitivefilms  Softlithography  Microcontact Printing  
基于PDMS微模具表面性能调控的陶瓷软刻蚀成形 学位论文
理学博士, 北京: 中国科学院大学
Authors:  李敏
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陶瓷微器件  软刻蚀  微模具  PDMS表面改性  Ceramic microcomponents  Soft lithography  Micromolds  PDMS surface modification