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超厚类金刚石碳基薄膜多层界面特征及其摩擦学特性 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
Authors:  王军军
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等离子体增强化学气相沉积  超厚类金刚石薄膜  超高承载  摩擦学性能  Plasma-enhanced Chemical Vapor Deposition  Super-thick Diamond-likecarbon Film  Ultra-high Load-bearing Capacity  Tribological Property  
Si过渡层类金刚石薄膜界面优化及其性能研究 期刊论文
摩擦学学报, 2014, 卷号: 34, 期号: 5, 页码: 531-537
Authors:  王军军;  蒲吉斌;  张广安;  王立平
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类金刚石薄膜  等离子体化学气相沉积  摩擦学性能  Diamond-like Carbon Films  Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition  Tribological Property  
Effect of N2/CH4 flow ratio on microstructure and composition of hydrogenated carbon nitride films prepared by a dual DC-RF plasma system 期刊论文
Journal of Non-Crystalline Solids, 2007, 卷号: 353, 页码: 136-142
Authors:  Hao JY(郝俊英);  Liu WM(刘维民);  Xue QJ(薛群基)
Adobe PDF(201Kb)  |  Favorite  |  View/Download：271/2  |  Submit date：2013/11/01
Films And Coatings  Chemical Vapor Deposition  Plasma Deposition  Vapor Phase Deposition  Hardness  Indentation  Microindentation  Microstructure  Ftir Measurements  Xps