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Si过渡层类金刚石薄膜界面优化及其性能研究 期刊论文
摩擦学学报, 2014, 卷号: 34, 期号: 5, 页码: 531-537
Authors:  王军军;  蒲吉斌;  张广安;  王立平
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类金刚石薄膜  等离子体化学气相沉积  摩擦学性能  Diamond-like Carbon Films  Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition  Tribological Property  
射频功率对类金刚石薄膜结构和性能的影响 期刊论文
物理学报, 2005, 卷号: 54, 期号: 4, 页码: 1885-1889
Authors:  李红轩;  徐洮;  陈建敏;  周惠娣;  刘惠文
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等离子增强化学气相沉积  类金刚石薄膜  射频功率  结构和性能  Plasma-enhanced Chemical Vapor Deposition  Diamond-like Carbon Films  Rf Power  Structure And Properties  
工艺参数对PECVD TiN镀层性能的影响 期刊论文
固体润滑, 1991, 卷号: 11, 期号: 1, 页码: 51-62
Authors:  张平余;  刘洪;  丛秋滋;  张绪寿;  王秀娥;  顾则鸣
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等离子体增强化学气相沉积  Tin镀层  物理机械性能  摩擦学性能  晶体学特征  沉积参数  Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition (Pecvd)  Tin coaTing  Physic-mechanical Properties  Tribological Characteristic  Crystallinity  Deposition Parameters