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Si过渡层类金刚石薄膜界面优化及其性能研究 期刊论文
摩擦学学报, 2014, 卷号: 34, 期号: 5, 页码: 531-537
作者:  王军军;  蒲吉斌;  张广安;  王立平
Adobe PDF(946Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：256/1  |  提交时间：2014/12/30
类金刚石薄膜  等离子体化学气相沉积  摩擦学性能  Diamond-like Carbon Films  Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition  Tribological Property