| 规则织构化硅片表面的制备及其润湿行为 | |
| Department | 固体润滑国家重点实验室 ; 先进润滑与防护材料研究发展中心 |
赵文杰; 曾志翔; 王立平 ; 陈建敏; 薛群基
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| 2011 | |
| Source Publication | 中国表面工程
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| ISSN | 1007-9289 |
| Volume | 24Issue:3Pages:4-10 |
| Abstract | 采用感应耦合等离子体刻蚀技术实现了不同形状和几何参数的规则织构化硅片表面的构筑与制备。主要以三种典型的规则织构包括圆柱状、 圆坑状和沟槽状表面为研究对象， 系统考察了织构形状和几何参数对表面润湿行为的影响规律。研究结果表明： 随着织构高度、 深度和表面覆盖率的增加， 规则织构化硅片表面疏水性能增强， 规则织构化表面疏水性能随着表面粗糙度的增加而增强。不同的几何形貌对硅片表面接触角的影响强度是不同的， 相对于柱状与沟槽状织构， 坑状织构在较小的表面粗糙度时可得到较大的接触角。当表面的接触角均为101°时， 坑状、柱状、沟槽状织构的表面粗糙度分别为16.2nm，29.2nm和70.2nm。 |
| Keyword | 规则织构化 形状 几何参数 润湿性 Regular Texture Shape Geometrical Parameters Wetting Behavior |
| Subject Area | 材料科学与物理化学 |
| Funding Organization | 浙江省宁波市引进院士团队项目(2009A31004);中国科学院兰州化物所固体润滑国家重点实验室开放课题项目(No. 1004);浙江省自然科学基金(Y4110283) |
| Language | 中文 |
| Funding Project | 低维材料摩擦学组 ; 磨损和表面工程组 |
| Document Type | 期刊论文 |
| Identifier | http://ir.licp.cn/handle/362003/939 |
| Collection | 固体润滑国家重点实验室（LSL） 中国科学院材料磨损与防护重点实验室/先进润滑与防护材料研究发展中心 |
| Recommended Citation GB/T 7714 | 赵文杰,曾志翔,王立平,等. 规则织构化硅片表面的制备及其润湿行为[J]. 中国表面工程,2011,24(3):4-10. |
| APA | 赵文杰,曾志翔,王立平,陈建敏,&薛群基.(2011).规则织构化硅片表面的制备及其润湿行为.中国表面工程,24(3),4-10. |
| MLA | 赵文杰,et al."规则织构化硅片表面的制备及其润湿行为".中国表面工程 24.3(2011):4-10. |
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| 2011-4-10.PDF（4526KB） | 开放获取 | License | View Application Full Text | |||
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