| 退火温度对 a-C:H 膜结构及摩擦学性能的影响 | |
| Department | 固体润滑国家重点实验室 ; 先进润滑与防护材料研究发展中心 |
王永霞; 冶银平 ; 李红轩; 吉利; 陈建敏; 周惠娣
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| 2011 | |
| Source Publication | 无机材料学报
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| ISSN | 1000-324X |
| Volume | 26Issue:2Pages:209-214 |
| Abstract | 为研究环境温度对含氢无定形碳(a-C:H)膜结构和性能的影响, 将a-C:H膜在大气环境中进行高温退火处理,并借助红外光谱、拉曼光谱、X 射线光电子能谱、3D 表面分析仪和球盘摩擦试验机等手段对退火前后 a-C:H 膜的结构、组成和性能进行了系统地考察. 研究发现, 在较低的退火温度下(300℃), a-C:H 膜结构无明显变化, 而其内应力降低, 摩擦学性能显著提高; 在 400℃和 500℃下退火, 膜结构发生明显变化并伴随严重氧化, 同时摩擦学性能降低甚至完全失效. 结果表明, 退火温度的选择对 a-C:H 膜的结构、组成及性能具有重要影响. |
| Keyword | A-c:h 膜 退火温度 结构 摩擦学性能 A-c:h Film Annealing Temperature Structure Tribological Property |
| Subject Area | 材料科学与物理化学 |
| Funding Organization | 国家自然科学基金(50705093);中国科学院创新群体基金(50421502) |
| Indexed By | SCI ; EI |
| Language | 中文 |
| Funding Project | 磨损和表面工程组 |
| Document Type | 期刊论文 |
| Identifier | http://ir.licp.cn/handle/362003/930 |
| Collection | 固体润滑国家重点实验室（LSL） 中国科学院材料磨损与防护重点实验室/先进润滑与防护材料研究发展中心 |
| Corresponding Author | 冶银平 |
| Recommended Citation GB/T 7714 | 王永霞,冶银平,李红轩,等. 退火温度对 a-C:H 膜结构及摩擦学性能的影响[J]. 无机材料学报,2011,26(2):209-214. |
| APA | 王永霞,冶银平,李红轩,吉利,陈建敏,&周惠娣.(2011).退火温度对 a-C:H 膜结构及摩擦学性能的影响.无机材料学报,26(2),209-214. |
| MLA | 王永霞,et al."退火温度对 a-C:H 膜结构及摩擦学性能的影响".无机材料学报 26.2(2011):209-214. |
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| 2011-209-214.PDF（941KB） | 开放获取 | License | View Application Full Text | |||
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