铝掺杂类石墨薄膜的构筑及其摩擦学性能研究 | |
Department | 固体润滑国家重点实验室 ; 先进润滑与防护材料研究发展中心 |
赵文杰; 王永欣; 曾志翔; 乌学东; 陈建敏; 薛群基 | |
2011 | |
Source Publication | 润滑与密封 |
ISSN | 0254-0150 |
Volume | 36Issue:10Pages:20-24 |
Abstract | 利用磁控溅射技术在硅片表面上制备铝掺杂类石墨(Graphite- like carbon,GLC) 薄膜,采用原子力显微镜场发射扫描电镜 X 射线光电子能谱仪 纳米压痕仪等考察铝掺杂对薄膜表面形貌 结构及其机械性能的影响规律; 利用旋转的球-盘微摩擦试验机考察薄膜的摩擦行为 结果表明: 铝的引入使GLC薄膜表面更加平整 致密; GLC薄膜的硬度和弹性模量随着掺铝量的增加而增加; 低载低速时,薄膜摩擦因数随着铝含量的增加而增加,高载高速时,摩擦因数随铝掺入量的增加明显降低且更稳定. |
Keyword | Glc薄膜 Al掺杂 表面结构 机械性能 摩擦行为 Glc Film Al Doping Surface Structure Mechanical Properties Tribological Behaviors |
Subject Area | 材料科学与物理化学 |
Funding Organization | 国家自然科学基金项目(50905178);宁波市团队引进项目(2009A31004);中国科学院兰州化物所固体润滑国家重点实验室开放课题(NO.1004) |
Language | 中文 |
Funding Project | 磨损和表面工程组 ; 低维材料摩擦学组 |
Document Type | 期刊论文 |
Identifier | http://ir.licp.cn/handle/362003/926 |
Collection | 固体润滑国家重点实验室(LSL) 中国科学院材料磨损与防护重点实验室/先进润滑与防护材料研究发展中心 |
Recommended Citation GB/T 7714 | 赵文杰,王永欣,曾志翔,等. 铝掺杂类石墨薄膜的构筑及其摩擦学性能研究[J]. 润滑与密封,2011,36(10):20-24. |
APA | 赵文杰,王永欣,曾志翔,乌学东,陈建敏,&薛群基.(2011).铝掺杂类石墨薄膜的构筑及其摩擦学性能研究.润滑与密封,36(10),20-24. |
MLA | 赵文杰,et al."铝掺杂类石墨薄膜的构筑及其摩擦学性能研究".润滑与密封 36.10(2011):20-24. |
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2011-20-24.PDF(667KB) | 开放获取 | License | View Application Full Text |
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