金属掺杂高硬度类石墨薄膜结构及其摩擦学性能研究 | |
Department | 固体润滑国家重点实验室 |
王永欣; 王立平; 薛群基 | |
2011 | |
Source Publication | 摩擦学学报 |
ISSN | 1004-0595 |
Volume | 31Issue:1Pages:1-7 |
Abstract | 利用磁控溅射技术制备了不同金属(Ti、Cr、Zr)掺杂类石墨(graphite-likecarbon,GLC)薄膜, 考察了金属掺杂对薄膜结构及其在不同环境下摩擦学性能的影响.结果表明:Ti、Cr、Zr掺杂促进了GLC膜中sp2结构的增加但过快的金属共沉积速率易使薄膜出现柱状生长取向而变得疏松粗糙;高硬GLC膜在大气及水环境中具有良好的环境自适应减摩抗磨作用特性,适当的金属掺杂可以提高GLC膜硬度并降低其干摩擦系数,但会使其水环境中摩擦系数升高;致密度和硬度对GLC膜耐磨性至关重要,致密而硬的膜层磨损轻微. |
Keyword | Glc膜 金属 结构 摩擦学性能 Glc Film Metal Microstructure Tribological Performance |
Subject Area | 材料科学与物理化学 |
Funding Organization | 国家高技术研究发展计划(863) 项目(2009AA03Z105);国家自然科学基金项目(50772115;50905178) |
Indexed By | EI |
Language | 中文 |
Funding Project | 低维材料摩擦学组 |
Document Type | 期刊论文 |
Identifier | http://ir.licp.cn/handle/362003/911 |
Collection | 固体润滑国家重点实验室(LSL) |
Corresponding Author | 王立平 |
Recommended Citation GB/T 7714 | 王永欣,王立平,薛群基. 金属掺杂高硬度类石墨薄膜结构及其摩擦学性能研究[J]. 摩擦学学报,2011,31(1):1-7. |
APA | 王永欣,王立平,&薛群基.(2011).金属掺杂高硬度类石墨薄膜结构及其摩擦学性能研究.摩擦学学报,31(1),1-7. |
MLA | 王永欣,et al."金属掺杂高硬度类石墨薄膜结构及其摩擦学性能研究".摩擦学学报 31.1(2011):1-7. |
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