| 磁控溅射 Al 靶功率对类金刚石薄膜结构和摩擦学性能的影响 | |
| Department | 固体润滑国家重点实验室 |
周升国; 王立平 ; 薛群基
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| 2011 | |
| Source Publication | 摩擦学学报
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| ISSN | 1004-0595 |
| Volume | 31Issue:3Pages:304-309 |
| Abstract | 本文采用中频磁控溅射金属Al靶，以CH4为反应气体，通过调整Al靶溅射功率，在p(100)单晶硅片和不锈钢基底上成功制备出不同Al含量的Al/ａ-C∶H纳米复合薄膜．并利用HR-TEM、XPS、纳米压痕仪和摩擦磨损试验机等手段分析和研究了Al/ａ -C∶H薄膜的结构、机械及摩擦学性能．结果表明：金属Al以纳米晶颗粒形式镶嵌在非晶碳网络中，使得所制备Al/ａ-C∶H薄膜呈现出典型的纳米晶/非晶复合结构；同时，Al掺杂促进了薄膜中sp2杂化碳形成，且有效地释放残余内应力．Al靶溅射功率为800W时所制备的Al/ａ-C∶H薄膜具有结构致密、内应力低、硬度高的特性；在大气环境中，该薄膜与Si3N4陶瓷球干摩擦时显示出优越的摩擦学性能，其摩擦系数约为0.055，磨损率约为2.9×10-16m3/(N·m)． |
| Keyword | 磁控溅射 Al/a-c:h 纳米复合薄膜 摩擦学性能 Magnetron Sputtering Nanocomposite Tribological Property |
| Subject Area | 材料科学与物理化学 |
| Funding Organization | 国家高技术研究发展计划(863)项目(2009AA03Z105);国家自然科学基金项目(50905178) |
| Indexed By | EI |
| Language | 中文 |
| Funding Project | 低维材料摩擦学组 |
| Document Type | 期刊论文 |
| Identifier | http://ir.licp.cn/handle/362003/909 |
| Collection | 固体润滑国家重点实验室（LSL） |
| Corresponding Author | 王立平 |
| Recommended Citation GB/T 7714 | 周升国,王立平,薛群基. 磁控溅射 Al 靶功率对类金刚石薄膜结构和摩擦学性能的影响[J]. 摩擦学学报,2011,31(3):304-309. |
| APA | 周升国,王立平,&薛群基.(2011).磁控溅射 Al 靶功率对类金刚石薄膜结构和摩擦学性能的影响.摩擦学学报,31(3),304-309. |
| MLA | 周升国,et al."磁控溅射 Al 靶功率对类金刚石薄膜结构和摩擦学性能的影响".摩擦学学报 31.3(2011):304-309. |
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| 2011-304-309.PDF（4108KB） | 开放获取 | License | View Application Full Text | |||
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