| CrN 基复合薄膜的结构及摩擦磨损性能研究 | |
| Department | 固体润滑国家重点实验室 |
张广安 ; 王立平; 刘千喜; 薛群基
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| 2011 | |
| Source Publication | 摩擦学学报
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| ISSN | 1004-0595 |
| Volume | 31Issue:2Pages:181-186 |
| Abstract | 采用反应磁控溅射法制备了CrN、CrSiN与CrAlN复合薄膜，分析了复合薄膜的微观结构，并考察了3类薄膜的摩擦磨损性能．结果表明: 所制备的薄膜晶体结构没有随着Si或Al的加入发生转变，仍然为面心立方结构．CrAlN复合薄膜为合金复合薄膜，其中Al以置换方式固溶于CrN中，取代了一部分Cr原子，形成固溶体; CrSiN复合薄膜为晶态CrN与非晶态Si3N4组成纳米复合结构．复合薄膜结构致密且硬度较CrN大幅提高，在摩擦磨损过程中具有较强的抗形变能力，能够有效阻止裂纹，抗摩擦磨损性能较 CrN 薄膜均有不同程度的提高． |
| Keyword | 复合材料 Crn基薄膜 结构 摩擦磨损 Composite Material Crn-based Films Microstructure Friction And Wear Performance |
| Subject Area | 材料科学与物理化学 |
| Funding Organization | 国家高技术研究发展计划(863)项目(2009AA03Z105);国家自然科学基金项目(50823008) |
| Indexed By | EI |
| Language | 中文 |
| Funding Project | 低维材料摩擦学组 |
| Document Type | 期刊论文 |
| Identifier | http://ir.licp.cn/handle/362003/908 |
| Collection | 固体润滑国家重点实验室（LSL） |
| Corresponding Author | 王立平 |
| Recommended Citation GB/T 7714 | 张广安,王立平,刘千喜,等. CrN 基复合薄膜的结构及摩擦磨损性能研究[J]. 摩擦学学报,2011,31(2):181-186. |
| APA | 张广安,王立平,刘千喜,&薛群基.(2011).CrN 基复合薄膜的结构及摩擦磨损性能研究.摩擦学学报,31(2),181-186. |
| MLA | 张广安,et al."CrN 基复合薄膜的结构及摩擦磨损性能研究".摩擦学学报 31.2(2011):181-186. |
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| File Name/Size | DocType | Version | Access | License | ||
| 2011-181-186.PDF（1007KB） | 开放获取 | License | View Application Full Text | |||
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