| 模具钢表面多层梯度纳米复合类金刚石薄膜的制备方法 | |
张俊彦 ; 张斌; 强力
| |
| 2015-07-01 | |
| Rights Holder | 中国科学院兰州化学物理研究所 |
| Date Available | 2013-06-19 |
| Country | 中国 |
| Abstract | 本发明公开了一种模具钢表面多层梯度纳米复合类金刚石薄膜的制备方法。该方法将经过常规前处理后的柱塞置于磁控溅射复合气相沉积系统的真空系统中，依次沉积多层梯度膜。多层梯度过渡层在制备的过程中对每一层都经过高温退火处理和氩离子表面刻蚀处理，以此来提高薄膜与基底的结合力，克服了模具钢表面常规类金刚石薄膜内应力高、附着力差等缺点。 |
| Subject Area | 材料科学与物理化学 |
| Department | 先进润滑与防护材料研究发展中心 |
| The second department | 固体润滑国家重点实验室 |
| Application Date | 2011-12-16 |
| Patent Number | 201110428052.5 |
| Language | 中文 |
| Status | 授权 |
| Application Number | CN103160781A |
| Patent Agent | 方晓佳 |
| Document Type | 专利 |
| Identifier | http://ir.licp.cn/handle/362003/7250 |
| Collection | 中国科学院材料磨损与防护重点实验室/先进润滑与防护材料研究发展中心 固体润滑国家重点实验室（LSL） |
| Recommended Citation GB/T 7714 | 张俊彦,张斌,强力. 模具钢表面多层梯度纳米复合类金刚石薄膜的制备方法. 201110428052.5[P]. 2015-07-01. |
| Files in This Item: | ||||||
| File Name/Size | DocType | Version | Access | License | ||
| 2011104280525.pdf（352KB） | 专利 | 授权 | 开放获取 | CC BY-NC-SA | View Application Full Text | |
Items in the repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.
Edit Comment