| 真空沉积碳膜的制备及其性能 | |
| Department | 非现建制 |
| 徐锦芬; 方嘉宝 | |
| 1986 | |
| Source Publication | 固体润滑
 |
| ISSN | 1004-0595 |
| Issue | 3Pages:154-160 |
| Abstract | 本文是一篇文献综述, 介绍了真空沉积类金刚石碳膜(DLC膜)、无定性碳膜(a-c膜)和石墨膜的几种制备方法及设备, 以及这些膜的性能, 特别着重地介绍了与摩擦学应用有关的性能。 |
| Subject Area | 材料科学与物理化学 |
| Language | 中文 |
| Document Type | 期刊论文 |
| Identifier | http://ir.licp.cn/handle/362003/6059 |
| Collection | 非现建制 |
| Recommended Citation GB/T 7714 | 徐锦芬,方嘉宝. 真空沉积碳膜的制备及其性能[J]. 固体润滑,1986(3):154-160. |
| APA | 徐锦芬,&方嘉宝.(1986).真空沉积碳膜的制备及其性能.固体润滑(3),154-160. |
| MLA | 徐锦芬,et al."真空沉积碳膜的制备及其性能".固体润滑 .3(1986):154-160. |
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| File Name/Size | DocType | Version | Access | License | ||
| 真空沉积碳膜的制备及其性能_徐锦芬.pd（495KB） | 开放获取 | CC BY-NC-SA | View Application Full Text | |||
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