| 沉积温度和氩气压力对钛薄膜物相结构和性能的影响 | |
| Department | 先进润滑与防护材料研究发展中心 |
高晓明 ; 孙嘉奕; 胡明; 翁立军; 伏彦龙; 杨军; 谭洪根
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| The second department | 固体润滑国家重点实验室 |
| 2013 | |
| Source Publication | 机械工程材料
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| ISSN | 1000-3738 |
| Volume | 37Issue:10Pages:44-49 |
| Abstract | 采用多弧离子镀方法在低温（166 K）、室温（300 K）以及不同氩气压力（0.2～0.8 Pa）条件下沉积钛薄膜，通过X射线衍射仪、原子力显微镜、显微硬度计和划痕试验机等对薄膜的物相结构和性能进行了研究。结果表明：不同工艺条件下沉积的钛薄膜均为密排六方纳米晶ω-Ti和α-Ti的两相复合相结构；在低温、低氩气压条件下沉积的钛薄膜具有较高含量的硬脆ω相，因而具有较高的显微硬度，同时还表现出良好的膜基结合性能，比较适宜用作固体润滑薄膜与钢基体间的过渡层，以改善膜基结合性能和承载能力。 |
| Keyword | 低温沉积 钛薄膜 物相结构 性能 Low Temperature Deposition Ti Film Phase Structure Property |
| Funding Organization | 国家自然科学基金项目(50301015;21173243) |
| Indexed By | CSCD |
| If | 0.2026 |
| Language | 中文 |
| Funding Project | PVD润滑薄膜组 |
| compositor | 第一作者单位 |
| Citation statistics |
Cited Times:2[CSCD]
[CSCD Record]
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| Document Type | 期刊论文 |
| Identifier | http://ir.licp.cn/handle/362003/4926 |
| Collection | 固体润滑国家重点实验室（LSL） 中国科学院材料磨损与防护重点实验室/先进润滑与防护材料研究发展中心 |
| Recommended Citation GB/T 7714 | 高晓明,孙嘉奕,胡明,等. 沉积温度和氩气压力对钛薄膜物相结构和性能的影响[J]. 机械工程材料,2013,37(10):44-49. |
| APA | 高晓明.,孙嘉奕.,胡明.,翁立军.,伏彦龙.,...&谭洪根.(2013).沉积温度和氩气压力对钛薄膜物相结构和性能的影响.机械工程材料,37(10),44-49. |
| MLA | 高晓明,et al."沉积温度和氩气压力对钛薄膜物相结构和性能的影响".机械工程材料 37.10(2013):44-49. |
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| 沉积温度和氩气压力对钛薄膜物相结构和性能（3813KB） | 期刊论文 | 作者接受稿 | 开放获取 | CC BY-NC-SA | View Application Full Text | |
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