低温沉积银和银铜薄膜的耐原子氧性能; 低温沉积银和银铜薄膜的耐原子氧性能; 低温沉积银和银铜薄膜的耐原子氧性能; 低温沉积银和银铜薄膜的耐原子氧性能 | |
Department | 先进润滑与防护材料研究发展中心 ; 先进润滑与防护材料研究发展中心 ; 先进润滑与防护材料研究发展中心 ; 先进润滑与防护材料研究发展中心 |
高晓明; 孙嘉奕; 胡明; 翁立军; 伏彦龙; 杨军; 谭洪根; 张良俊 | |
The second department | 固体润滑国家重点实验室 ; 固体润滑国家重点实验室 ; 固体润滑国家重点实验室 ; 固体润滑国家重点实验室 |
2013 ; 2013 ; 2013 ; 2013 | |
Source Publication | 机械工程材料 ; 机械工程材料 ; 机械工程材料 ; 机械工程材料 |
ISSN | 1000-3738 ; 1000-3738 ; 1000-3738 ; 1000-3738 |
Volume | 37Issue:11Pages:55-59 |
Abstract | 采用多弧离子镀方法在低温(173 K)下沉积了银和银铜薄膜,通过地面原子氧模拟试验系统考察了薄膜的耐原子氧性能,通过X射线衍射仪(XRD)和原子力显微镜(AFM)对薄膜的结构和耐原子氧性能进行了分析,并与室温下沉积的银薄膜进行了比较。结果表明:低温沉积和铜元素合金化,可减小银薄膜的晶粒尺寸,并提高其结构致密性;低温沉积的银铜薄膜表现出细密的结构,这有利于抑制原子氧对薄膜的氧化,从而使其比室温及低温下沉积的银薄膜具有更好的耐原子氧性能。; 采用多弧离子镀方法在低温(173 K)下沉积了银和银铜薄膜,通过地面原子氧模拟试验系统考察了薄膜的耐原子氧性能,通过X射线衍射仪(XRD)和原子力显微镜(AFM)对薄膜的结构和耐原子氧性能进行了分析,并与室温下沉积的银薄膜进行了比较。结果表明:低温沉积和铜元素合金化,可减小银薄膜的晶粒尺寸,并提高其结构致密性;低温沉积的银铜薄膜表现出细密的结构,这有利于抑制原子氧对薄膜的氧化,从而使其比室温及低温下沉积的银薄膜具有更好的耐原子氧性能。; 采用多弧离子镀方法在低温(173 K)下沉积了银和银铜薄膜,通过地面原子氧模拟试验系统考察了薄膜的耐原子氧性能,通过X射线衍射仪(XRD)和原子力显微镜(AFM)对薄膜的结构和耐原子氧性能进行了分析,并与室温下沉积的银薄膜进行了比较。结果表明:低温沉积和铜元素合金化,可减小银薄膜的晶粒尺寸,并提高其结构致密性;低温沉积的银铜薄膜表现出细密的结构,这有利于抑制原子氧对薄膜的氧化,从而使其比室温及低温下沉积的银薄膜具有更好的耐原子氧性能。; 采用多弧离子镀方法在低温(173 K)下沉积了银和银铜薄膜,通过地面原子氧模拟试验系统考察了薄膜的耐原子氧性能,通过X射线衍射仪(XRD)和原子力显微镜(AFM)对薄膜的结构和耐原子氧性能进行了分析,并与室温下沉积的银薄膜进行了比较。结果表明:低温沉积和铜元素合金化,可减小银薄膜的晶粒尺寸,并提高其结构致密性;低温沉积的银铜薄膜表现出细密的结构,这有利于抑制原子氧对薄膜的氧化,从而使其比室温及低温下沉积的银薄膜具有更好的耐原子氧性能。 |
Keyword | 低温沉积 低温沉积 低温沉积 低温沉积 银铜薄膜 银铜薄膜 银铜薄膜 银铜薄膜 耐原子氧性能 耐原子氧性能 耐原子氧性能 耐原子氧性能 Low Temperature Deposition Low Temperature Deposition Low Temperature Deposition Low Temperature Deposition Ag-cu Film Ag-cu Film Ag-cu Film Ag-cu Film Ao Resistant Behavior Ao Resistant Behavior Ao Resistant Behavior Ao Resistant Behavior |
Funding Organization | 国家自然科学基金项目(50301015;51227804) ; 国家自然科学基金项目(50301015;51227804) ; 国家自然科学基金项目(50301015;51227804) ; 国家自然科学基金项目(50301015;51227804) |
Indexed By | CSCD ; CSCD ; CSCD ; CSCD |
If | 0.2026 ; 0.2026 ; 0.2026 ; 0.2026 |
Language | 中文 ; 中文 ; 中文 ; 中文 |
Funding Project | PVD润滑薄膜组 ; PVD润滑薄膜组 ; PVD润滑薄膜组 ; PVD润滑薄膜组 |
compositor | 第一作者单位 ; 第一作者单位 ; 第一作者单位 ; 第一作者单位 |
Citation statistics |
Cited Times:1[CSCD]
[CSCD Record]
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Document Type | 期刊论文 |
Identifier | http://ir.licp.cn/handle/362003/4925 |
Collection | 固体润滑国家重点实验室(LSL) 中国科学院材料磨损与防护重点实验室/先进润滑与防护材料研究发展中心 |
Recommended Citation GB/T 7714 | 高晓明,孙嘉奕,胡明,等. 低温沉积银和银铜薄膜的耐原子氧性能, 低温沉积银和银铜薄膜的耐原子氧性能, 低温沉积银和银铜薄膜的耐原子氧性能, 低温沉积银和银铜薄膜的耐原子氧性能[J]. 机械工程材料, 机械工程材料, 机械工程材料, 机械工程材料,2013, 2013, 2013, 2013,37, 37, 37, 37(11):55-59, 55-59, 55-59, 55-59. |
APA | 高晓明.,孙嘉奕.,胡明.,翁立军.,伏彦龙.,...&张良俊.(2013).低温沉积银和银铜薄膜的耐原子氧性能.机械工程材料,37(11),55-59. |
MLA | 高晓明,et al."低温沉积银和银铜薄膜的耐原子氧性能".机械工程材料 37.11(2013):55-59. |
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低温沉积银和银铜薄膜的耐原子氧性能.pd(3388KB) | 期刊论文 | 作者接受稿 | 开放获取 | CC BY-NC-SA | View Application Full Text |
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