| 低温沉积Cu膜的晶体结构及摩擦磨损性能的初步研究 | |
| Department | 固体润滑国家重点实验室 ; 先进润滑与防护材料研究发展中心 |
高晓明 ; 孙嘉奕; 胡明; 翁立军; 刘维民
| |
| 2007 | |
| Source Publication | 摩擦学学报
 |
| ISSN | 1004-0595 |
| Volume | 27Issue:4Pages:308-311 |
| Abstract | 采用离子镀技术于45#钢基体表面在低温(164～115 K)和常温(291 K)条件下沉积Cu膜, 通过X射线衍射仪、扫描电子显微镜研究Cu膜的晶体结构及其表面形貌, 采用划痕试验法测量Cu膜的临界载荷(Lc ), 在真空球2盘摩擦磨损试验机上考察其摩擦磨损性能并探讨其磨损机理. 结果表明: 基体温度对Cu膜的择优取向影响明显, 在常温(291 K)下沉积的Cu膜为(200)择优取向, 基体温度降至164 K以下所沉积的Cu膜呈现出明显的(111)择优取向; 低温沉积Cu膜的表面较为光滑, 其Lc 值明显高于常温沉积的Cu膜; 低温沉积Cu膜的磨损率明显低于常温沉积Cu膜, 表现出良好的耐磨性, 这主要是由于低温沉积Cu膜具有(111)择优取向和良好的膜-基结合力的缘故. |
| Keyword | Cu膜 低温沉积 择优取向 摩擦磨损性能 Cu Films Low Temperature Deposition Preferred Orientation Friction And Wear Properties |
| Subject Area | 材料科学与物理化学 |
| Funding Organization | 国家自然科学基金资助项目(50301015;50421502);国家973项目资助(2007CB607601) |
| Indexed By | EI ; CSCD |
| Language | 中文 |
| Funding Project | PVD润滑薄膜组 ; 空间润滑材料组 |
| Citation statistics |
Cited Times:4[CSCD]
[CSCD Record]
|
| Document Type | 期刊论文 |
| Identifier | http://ir.licp.cn/handle/362003/4127 |
| Collection | 固体润滑国家重点实验室（LSL） 中国科学院材料磨损与防护重点实验室/先进润滑与防护材料研究发展中心 |
| Corresponding Author | 高晓明 |
| Recommended Citation GB/T 7714 | 高晓明,孙嘉奕,胡明,等. 低温沉积Cu膜的晶体结构及摩擦磨损性能的初步研究[J]. 摩擦学学报,2007,27(4):308-311. |
| APA | 高晓明,孙嘉奕,胡明,翁立军,&刘维民.(2007).低温沉积Cu膜的晶体结构及摩擦磨损性能的初步研究.摩擦学学报,27(4),308-311. |
| MLA | 高晓明,et al."低温沉积Cu膜的晶体结构及摩擦磨损性能的初步研究".摩擦学学报 27.4(2007):308-311. |
| Files in This Item: | ||||||
| File Name/Size | DocType | Version | Access | License | ||
| 2007-308-312.pdf（744KB） | 开放获取 | CC BY-NC-SA | View Application Full Text | |||
Items in the repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.
Edit Comment