| 角分辨XPS测定极薄金膜的厚度和覆盖率 | |
| Department | 固体润滑国家重点实验室 |
庞重军; 白明武; 严洁 ; 王博; 林义民
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| 2007 | |
| Source Publication | 材料科学与工程学报
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| ISSN | 1673-2812 |
| Volume | 25Issue:3Pages:349-352 |
| Abstract | 极薄薄膜的覆盖率有时难以用常规方法定量表征。本文提出了一套以单层薄膜的角分辨X射线光电子能谱(ARXPS)模型测定极薄薄膜的厚度h, 以恰好不再能检测到基底信号的光电子出射角(TOA)为最小基底信号起飞角θmin, 以最大裸露线宽L= h/tgθmin为直径的圆形裸露区模型估算薄膜覆盖率的新方法。将该方法应用于热蒸镀法在羟基化硅基底上制备的极薄的岛状金膜,当TOA > 17.5°时Au 4f 的峰强变化与单层膜的ARXPS 模型吻合得很好;当TOA < 7.5°时不再能检出基底信号; 测得金膜的厚度为16.0 ±0.4Ǻ, 金膜覆盖率为～92 %。 |
| Keyword | 材料检测与分析技术 薄膜厚度 覆盖率 Arxps 金膜 Measuring And Analysis For Materials Thin-film Thickness Coverage Rate Gold Film |
| Subject Area | 材料科学与物理化学 |
| Funding Organization | 国家自然科学基金委创新群体研究基金资助项目(50421502);中国科学院“百人计划”资助项目 |
| Indexed By | CSCD |
| Language | 中文 |
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| Document Type | 期刊论文 |
| Identifier | http://ir.licp.cn/handle/362003/4119 |
| Collection | 固体润滑国家重点实验室（LSL） |
| Corresponding Author | 白明武 |
| Recommended Citation GB/T 7714 | 庞重军,白明武,严洁,等. 角分辨XPS测定极薄金膜的厚度和覆盖率[J]. 材料科学与工程学报,2007,25(3):349-352. |
| APA | 庞重军,白明武,严洁,王博,&林义民.(2007).角分辨XPS测定极薄金膜的厚度和覆盖率.材料科学与工程学报,25(3),349-352. |
| MLA | 庞重军,et al."角分辨XPS测定极薄金膜的厚度和覆盖率".材料科学与工程学报 25.3(2007):349-352. |
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| File Name/Size | DocType | Version | Access | License | ||
| 2007-349-352.pdf（306KB） | 开放获取 | CC BY-NC-SA | View Application Full Text | |||
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