O2 /Ar 流量比及退火对氧化锆薄膜结构及摩擦学 性能的影响 | |
Department | 中国科学院材料磨损与防护重点实验室/先进润滑与防护材料研究发展中心 |
许文举; 鞠鹏飞; 李红轩; 吉利; 刘晓红; 陈建敏 | |
The second department | 磨损与表面工程课题组 |
2020-06 | |
Source Publication | 中国表面工程 |
Volume | 33Issue:5Pages:65-74 |
Indexed By | EI |
If | 无 |
Language | 中文 |
compositor | 第一作者单位 |
Document Type | 期刊论文 |
Identifier | http://ir.licp.cn/handle/362003/28151 |
Collection | 中国科学院材料磨损与防护重点实验室/先进润滑与防护材料研究发展中心 |
Recommended Citation GB/T 7714 | 许文举,鞠鹏飞,李红轩,等. O2 /Ar 流量比及退火对氧化锆薄膜结构及摩擦学 性能的影响[J]. 中国表面工程,2020,33(5):65-74. |
APA | 许文举,鞠鹏飞,李红轩,吉利,刘晓红,&陈建敏.(2020).O2 /Ar 流量比及退火对氧化锆薄膜结构及摩擦学 性能的影响.中国表面工程,33(5),65-74. |
MLA | 许文举,et al."O2 /Ar 流量比及退火对氧化锆薄膜结构及摩擦学 性能的影响".中国表面工程 33.5(2020):65-74. |
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O_2_Ar流量比及退火对氧化锆薄膜结构(1240KB) | 期刊论文 | 作者接受稿 | 开放获取 | CC BY-NC-SA | View Application Full Text |
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