金属复合对 CrN薄膜的结构及摩擦磨损性能的影响 | |
Department | 固体润滑国家重点实验室 |
王静; 张广安; 王立平 | |
2008 | |
Source Publication | 润滑与密封 |
ISSN | 0254-0150 |
Volume | 33Issue:5Pages:30-32 |
Abstract | 摘要: 采用反应磁控溅射制备了 CrN、Cr-Al-N与 Cr-Ti-N复合薄膜; 利用 XRD与 SEM表征了薄膜的结构及断面形貌; 采用摩擦磨损实验机考察了薄膜的摩擦磨损性能; 研究了金属复合对薄膜结构和摩擦磨损性能的影响。结果表明:所制备的复合薄膜中 Al与 Ti均以置换方式固溶于 CrN中, 取代了一部分 Cr原子, 形成固溶体的合金复合薄膜; 合金复合后薄膜的结晶性变差, 晶粒均出现细化; 合金复合薄膜的摩擦磨损性能均有不同程度的提高, 其中 Cr-Al-N薄膜的耐磨性极大提高。 |
Keyword | Crn薄膜 磁控溅射 金属复合 摩擦磨损 Crn Coatings Magnetron Sputtering Metal Alloyed Wear Properties |
Subject Area | 材料科学与物理化学 |
Funding Organization | 国家重点基础研究发展计划(“973”计划)资助项目(2007CB607601);国家自然科学基金资助项目(50772115) |
Indexed By | CSCD |
Language | 中文 |
Funding Project | 低维材料摩擦学组 |
Citation statistics | |
Document Type | 期刊论文 |
Identifier | http://ir.licp.cn/handle/362003/2759 |
Collection | 固体润滑国家重点实验室(LSL) |
Recommended Citation GB/T 7714 | 王静,张广安,王立平. 金属复合对 CrN薄膜的结构及摩擦磨损性能的影响[J]. 润滑与密封,2008,33(5):30-32. |
APA | 王静,张广安,&王立平.(2008).金属复合对 CrN薄膜的结构及摩擦磨损性能的影响.润滑与密封,33(5),30-32. |
MLA | 王静,et al."金属复合对 CrN薄膜的结构及摩擦磨损性能的影响".润滑与密封 33.5(2008):30-32. |
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