| 中频磁控溅射沉积CNx纳米柱状阵列及其影响因素 | |
张斌
| |
| Subject Area | 材料科学 |
| Subtype | 真空学会优秀论文奖 |
| Award Level | 无 |
| 2008 | |
| Department | 中国真空学会 |
| Document Type | 成果 |
| Identifier | http://ir.licp.cn/handle/362003/24551 |
| Collection | 固体润滑国家重点实验室（LSL） 中国科学院材料磨损与防护重点实验室/先进润滑与防护材料研究发展中心 |
| Affiliation | 中国科学院兰州化学物理研究所 |
| Recommended Citation GB/T 7714 | 张斌. 中频磁控溅射沉积CNx纳米柱状阵列及其影响因素. 真空学会优秀论文奖. 2008. |
| Files in This Item: | ||||||
| File Name/Size | DocType | Version | Access | License | ||
| 中频磁控溅射沉积CNx纳米柱阵列及其影响（121KB） | 成果 | 开放获取 | CC BY-NC-SA | View Application Full Text | ||
Items in the repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.
Edit Comment