| 中频交流磁控溅射制备TiOx纳米薄膜及其浸润性研究 | |
| 杜雯 | |
| Subtype | 工学硕士 |
| Thesis Advisor | 冶银平 |
| 2009-05-21 | |
| Degree Grantor | 中国科学院研究生院 |
| Department | 先进润滑与防护材料研究发展中心 |
| Degree Discipline | 材料学 |
| Keyword | 钛的氧化物 磁控溅射 水热 超亲水性 超疏水性 Tiox Megneton Sputtering Hydrothermal Superhydrophilic Superhydrophobic |
| Abstract | 本论文在综述了磁控溅射、薄膜表面浸润性以及钛的氧化物薄膜材料的研究进展的基础上，确定了以中频交流磁控溅射技术结合退火、水热后处理等方法制备TiOx薄膜的研究方向。系统地开展了钛的氧化物纳米薄膜的磁控溅射制备、表面修饰及其浸润性能研究。取得以下一些较有意义的研究结果： 1.制备出了均匀、平整、致密结晶良好的一氧化钛纳米薄膜。该薄膜退火处理后得到金红石相TiO2。经水热处理后薄膜表面变为纳米片状结构，该薄膜具有超亲水性，修饰后具有超疏水性。 2.制备出了透明的、单一锐钛矿相的二氧化钛纳米薄膜。考察了磁控溅射中温度对二氧化钛纳米薄膜组成和形貌的影响。研究了薄膜退火后的超亲水性，同时分析了其超亲水性的机理。 3. 利用ECR微波等离子体增强中频交流磁控溅射制备了一系列不同计量比的钛氧化合物TiOx (x=1/2～1) 薄膜，该薄膜经退火后均具有超亲水性。通过水热后处理，得到具有垂直生长纳米片状结构的特殊形貌不经紫外光照的超亲水性薄膜，该薄膜修饰后成为低粘滞超疏水表面。 4. 钛氧化物薄膜超亲水与晶型、计量比并无必然联系。超亲水性主要和表面形貌及表面化学状态氧空位及其表面纳米尺寸的亲疏水微区有关。 |
| Subject Area | 真空镀膜及表面工程 |
| Funding Project | 磨损和表面工程组 |
| Document Type | 学位论文 |
| Identifier | http://ir.licp.cn/handle/362003/1836 |
| Collection | 中国科学院材料磨损与防护重点实验室/先进润滑与防护材料研究发展中心 |
| Recommended Citation GB/T 7714 | 杜雯. 中频交流磁控溅射制备TiOx纳米薄膜及其浸润性研究[D]. 中国科学院研究生院,2009. |
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