| 水溶液法制备图案化TiO2薄膜 | |
| Department | 固体润滑国家重点实验室 |
梁山; 薛群基 ; 崔玉红; 赵占芬
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| 2010 | |
| Source Publication | 物理化学学报
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| ISSN | 1000-6818 |
| Volume | 26Issue:2Pages:502-506 |
| Abstract | 从硫酸钛Ti(SO4)2的水溶液出发, 采用化学浴沉积和电沉积法来制备图案化TiO2薄膜. 通过硫酸和双氧水来稳定Ti4+, 配制了pH=1.0的硫酸钛溶液和pH=1.6的过氧硫酸钛溶液. 结合微接触印刷术在硅基底上制得自组装膜预图案, 再化学浴沉积 TiO2即可得规则图纹. 无机配体对钛溶液的稳定性和TiO2的晶型均有影响, 溶液的酸度关系到所得图案的质量. 过氧硫酸钛溶液同样适用于电沉积, 在导电玻璃基底上旋涂光刻胶后选择性曝光、显影, 通过控制阴极电位可获得高差达200 nm的清晰图案. |
| Keyword | Tio2 硫酸钛 过氧硫酸钛 图案化 化学浴沉积 电沉积 Titanium Sulfate Peroxotitanium Sulfate Patterning Chemical Bath Deposition Eletrodeposition |
| Subject Area | 材料科学与物理化学 |
| Funding Organization | 天津科技大学引进人才科研启动基金(20080433)资助项目 |
| Indexed By | SCI |
| Language | 中文 |
| Funding Project | 低维材料摩擦学组 |
| Document Type | 期刊论文 |
| Identifier | http://ir.licp.cn/handle/362003/1133 |
| Collection | 固体润滑国家重点实验室（LSL） |
| Corresponding Author | 梁山 |
| Recommended Citation GB/T 7714 | 梁山,薛群基,崔玉红,等. 水溶液法制备图案化TiO2薄膜[J]. 物理化学学报,2010,26(2):502-506. |
| APA | 梁山,薛群基,崔玉红,&赵占芬.(2010).水溶液法制备图案化TiO2薄膜.物理化学学报,26(2),502-506. |
| MLA | 梁山,et al."水溶液法制备图案化TiO2薄膜".物理化学学报 26.2(2010):502-506. |
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